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電子光電凈化工程對于無塵車間的要求

作者:超級管理員 瀏覽量:850 來源:本站 時間:2022-05-10 02:40:45

信息摘要:

電子光電凈化工程對于無塵車間的要求:無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室,電子工廠生產(chǎn)工藝分類眾多,有集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),平南顯示器生產(chǎn)(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料 生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級管,電容

電子光電凈化工程對于無塵車間的要求:無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室,電子工廠生產(chǎn)工藝分類眾多,有集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),平南顯示器生產(chǎn)(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料 生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級管,電容、電阻),整機組裝生產(chǎn)(機頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執(zhí)行機構(gòu))等。

由于生產(chǎn)工藝種類繁多,對潔凈度等級要求也不同,高的很高,低的很低;對粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5um;對溫濕度控制的要求相對較 高,如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基數(shù)為40%(精度±2~±5℃;正壓值要求的梯度級別,隨著潔凈度的變化而從高到低變化,差值5~10Pa。

電子行業(yè)無塵車間的冷負荷比其他行業(yè)的無塵車間大很多,單位冷負荷達400~500W/㎡很常見。由于冷負荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點。

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節(jié)能措施也是行業(yè)特點之一,排放前要做處理,使排風負荷環(huán)保要求。

電子光電凈化工程生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對純度和潔凈度要求高:

1.電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)

2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。

3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa

4.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值:

5.補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6.保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

對于無塵車間的要求:無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室,電子工廠生產(chǎn)工藝分類眾多,有集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),平南顯示器生產(chǎn)(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料 生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級管,電容、電阻),整機組裝生產(chǎn)(機頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執(zhí)行機構(gòu))等。

由于生產(chǎn)工藝種類繁多,對潔凈度等級要求也不同,高的很高,低的很低;對粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5um;對溫濕度控制的要求相對較 高,如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基數(shù)為40%(精度±2~±5℃;正壓值要求的梯度級別,隨著潔凈度的變化而從高到低變化,差值5~10Pa。

電子行業(yè)無塵車間的冷負荷比其他行業(yè)的無塵車間大很多,單位冷負荷達400~500W/㎡很常見。由于冷負荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點。

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節(jié)能措施也是行業(yè)特點之一,排放前要做處理,使排風負荷環(huán)保要求。

新形勢下潔凈室技術(shù)的發(fā)展方向3.jpg

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對純度和潔凈度要求高:

1.電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)

2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。

3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa

4.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值:

5.補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6.保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

以上就是廣州科凌凈化工程公司談電子光電凈化工程對于無塵車間的要求。希望對你有所幫助。我們專業(yè)從事:無塵車間 化工程 潔凈廠房 凈化車間 無菌車間 凈化廠房 無塵廠房 食品無塵車間 半導(dǎo)體無塵車間 醫(yī)療制藥凈化工程 生物實驗室凈化工程 電子光電凈化工程 醫(yī)療潔凈工程 實驗室凈化 手術(shù)室凈化 無塵車間裝修 凈化車間裝修 凈化工程裝修 GMP凈化車間 廣州凈化工程公司 中央廚房裝修 醫(yī)用醫(yī)藥冷庫 廠房凈化工程 實驗室凈化工程 廠房凈化裝飾 實驗室改造工程 廠房凈化設(shè)計 車間凈化工程 數(shù)據(jù)中心機房裝修。有無塵車間設(shè)備、設(shè)計、安裝、維修等全方位服務(wù)。歡迎訪問我們的官方網(wǎng)站:http://m.ed05.cn

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